- регистратор загрязнений
- contamination monitor
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
датчик — 3.3.2 датчик (sensor): Функциональный блок газоанализатора, в котором расположен первичный преобразователь. Источник … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
ДИАГНОСТИКА ПЛАЗМЫ — совокупность методов определения параметров ионизов. газа. К определяемым параметрам плазмы относятся плотность n, электронная Те и ионная Ti темп ры, интенсивность излучения, электрич. и магн. поля и др. Понятие «температура» обычно используется … Физическая энциклопедия